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梳齿式硅微加速度计的结构设计与工艺研究的中期报告 梳齿式硅微加速度计是一种基于微机电系统技术制造的高精度加速度传感器。该传感器采用梳齿结构作为敏感元件，通过检测微小位移来测量加速度。它具有结构简单、体积小、重量轻、精度高等优点，已经广泛应用于航空、航天、汽车、医疗等领域。 本文介绍了梳齿式硅微加速度计的结构设计和工艺研究的中期报告。首先介绍了加速度计的工作原理和应用领域，然后详细讲解了梳齿式硅微加速度计的结构设计。根据传感器的原理，设计了从支撑结构、梳齿结构到电极结构等多个方面的具体参数和结构。同时，对于一些关键参数，采用有限元分析、优化设计等手段进行了优化，以提高传感器的精度和可靠性。 接着，文中重点介绍了梳齿式硅微加速度计的工艺流程。根据传感器的设计要求，通过微纳加工技术进行了多次光刻、电子束曝光、腐蚀刻蚀、真空薄膜沉积、金属蒸镀等工艺步骤，制造了梳齿式硅微加速度计的实验样品。针对工艺过程中存在的一些问题，进行了详细的分析和改进，保证了传感器的制造质量和稳定性。 最后，本文还对梳齿式硅微加速度计的下一步研究方向进行了探讨。其中，主要包括通过改进结构设计和工艺流程进一步提高传感器的精度和可靠性、采用新型材料、新的制造工艺等手段实现更高性能的硅微加速度计。