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- 2023-10-14 发布于四川
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本申请提供了一种工艺控制参数优化方法、装置、电子设备及存储介质，所述方法包括根据工艺控制序列中对应于各检测点的各工艺控制参数，获得各检测点对应的各预测状态数据，根据在各检测点中确定的目标检测点和待调整检测点，在各预测状态数据中确定目标检测点的目标状态数据，并获得目标检测点的实际状态数据；分析目标状态数据和实际状态数据，获得目标检测点的状态分析数据，根据目标检测点的状态分析数据，优化待调整检测点的工艺控制参数。借此，本申请可在工艺处理过程中，实时动态地提供工艺控制参数的优化方案，以提高生产效率和产
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116880397 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310897245.8
(22)申请日 2023.07.20
(71)申请人 西门子（中国）有限公司
地址 1
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