基于光学杠杆角度补偿的激光位移测量装置和方法.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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基于光学杠杆角度补偿的激光位移测量装置和方法.pdf

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本发明提出了基于光学杠杆角度补偿的激光位移测量装置和方法，包括：激光光源、分光干涉镜组、背对背测量镜组、角度监测模块和信号处理系统；激光光源，用于发出激光；分光干涉镜组，用于将激光分裂成位移测量光束和角度监测光束；背对背测量镜组，用于反射位移测量光束和角度监测光束，信号处理系统，用于接收背对背测量镜组反射的光束，在获取背对背测量镜组位移量的同时，实现角度影响的在线监测和补偿。本发明将位移测量光路和角度监测光路耦合在一起，实现共路传播，由背对背测量镜组同时反射，在完成位移测量的同时实现背对背测量镜

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116878393 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310944629.0 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人中国计量科学研究院地址 100