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本发明公开了一种芯片晶圆缺陷检测方法、装置、终端设备以及存储介质，其方法包括：通过预设的成像系统获取晶圆图片；将所述晶圆图片输入预设的神经网络模型进行特征提取，获取所述晶圆图片的全局特征以及局部特征集；基于所述晶圆图片的全局特征以及局部特征集，结合预设的全局阈值以及局部阈值进行分析，获取分析结果。本发明解决了芯片晶圆缺陷检测存在检测结果不准确的问题，提高了芯片晶圆缺陷检测的效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116894839 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202311148273.6 G06V 10/75 (2022.01)
(22)申请日 2023.09.
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