气体传感器及利用气体传感器进行的浓度测定方法.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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气体传感器及利用气体传感器进行的浓度测定方法.pdf

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本发明提供一种能够对CO2、H2O及氧的浓度进行测定的气体传感器。气体传感器的传感器元件具备：经由不同的扩散速度控制部而自气体导入口开始依次连通的副调整空腔、第一空腔、第二空腔及第三空腔，副调整泵单元以被测定气体中含有的H2O和CO2不被分解的范围而从导入至副调整空腔的被测定气体吸出氧，第一泵单元以使得从副调整空腔导入至第一空腔的被测定气体中含有的H2O和CO2全部被分解的方式从第一空腔吸出氧，根据使分解产生的H2和CO在第二空腔及第三空腔中氧化时的吸入电流，分别确定H2O和CO2的浓度，基于通

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116893212 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310248206.5 (22)申请日 2023.03.15 (30)优先权数据 2022-058985