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本发明的真空泵及磁性轴承的课题在于抑制磁性轴承在底座的加热前后变形。本发明的真空泵包括:转子,具有轴;底座,将轴能够旋转地收纳;推力盘,设于轴的下部;以及磁性轴承,沿轴向支撑轴。磁性轴承包括:第一电磁铁,与推力盘的上表面相向配置;以及第二电磁铁,与推力盘的下表面相向配置。第二电磁铁包括芯及线圈。芯包括设有贯通孔的紧固部分,所述贯通孔供将芯紧固在底座的螺栓贯穿。紧固部分的贯通孔的深度方向的厚度比螺栓的标称直径大。或者,紧固部分的贯通孔的深度方向的中心位置处于比第二电磁铁的上下方向的中心位置更靠上方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116892527 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310268318.7
(22)申请日 2023.03.17
(30)优先权数据
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