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- 2023-10-18 发布于四川
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本申请提供一种静电吸盘及搬运设备，所述静电吸盘包括多层复合陶瓷盘、连接层和同质层；所述多层复合陶瓷盘为一体烧结形成且顺次包括介质层、电极层及基底层；所述同质层为采用单一材料制成的层状，所述基底层通过所述连接层连接至所述同质层。所述同质层为采用具有与所述基底层相近热膨胀系数材料制成的层状，或，所述同质层为采用与所述基底层相同材料制成的层状。本申请提供的静电吸盘及搬运设备，其复合陶瓷盘用于与待搬运物体直接接触的介质层具有良好的表面平面度及粗糙度，其不易发生形变，可靠性强，使用寿命长，有助于提高产品加
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219842972 U
(45)授权公告日 2023.10.17
(21)申请号 202320842146.5
(22)申请日 2023.04.11
(73)专利权人 烟台睿瓷新材料技术有限公司
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