光mems器件李振概述.ppt

无源光MEMS器件应用李振assive optical device application 典型元件反射镜衍射光闸光传输线 主要应用匹配WDM系统的微光纤器件微型的医疗器具〔光纤内窥镜〕图像投射显示 光MEMS通信器件可变光衰减器(VOA)静电力可调型倾斜镜SOI智能材料加工〔DIRE深反响离子刻蚀〕 光MEMS通信器件可变光衰减器(VOA)直径：6mm 厚度：30um单晶硅抗扭梁：1.5um宽 150um长工作电压：5V将信号调整为40dB或更高抗静电和温度干扰机械稳定性 光MEMS通信器件可变光衰减器(VOA)实现光网络的关键件广泛应用在光纤网络系统中 光MEMS