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电子能谱学 第7讲 俄歇电子能谱原理 2005.11.7 俄歇电子能谱 • 俄歇电子能谱的原理 • 俄歇电子能谱仪 • 俄歇电子能谱的实验方法 • 俄歇电子能谱的应用 清华大学化学系材料与表面实验室 俄歇电子能谱原理 • 俄歇电子的发现 • 俄歇电子能谱的发展 • 俄歇电子能谱的重要性 • 俄歇电子能谱的应用领域 清华大学化学系材料与表面实验室 俄歇电子能谱的特点 • 俄歇电子能谱可以分析除氢氦以外的所有元素 ，是有效的 定性分析工具； • 俄歇电子能谱具有非常灵敏的表面性，是最常用的表面分 析手段，检测深度在0.5-2nm；检测极限约为10-3原子单层。 • 采用电子束作为激发源，具有很高的空间分辨率，最小可 达到6nm。 • 可进行微区分析和深度分析，具有三维分析的特点。 • 要求是导体或半导体材料； 清华大学化学系材料与表面实验室 俄歇电子能谱的发展趋势 • 场发射，高空间分辨率， 6nm； • 更好的深度分辨能力，样品旋转技术，提 高深度分辨能力； • 图像谱仪功能，可以获得元素图像分布和 化学态图像分布信息； • 高速分析和自动分析； 清华大学化学系材料与表面实验室 俄歇电子能谱的重要性 • 表面分析的主要手段； • 薄膜材料表面与界面分析需要； • 纳米材料发展的需要； • 具有微区，深度和图像分析的能力； • 适合微电子器件的研究；