纳米薄膜的特性及应用课件.pptxVIP

纳米薄膜的特性 及应用 班级：硕1009班 姓名：黄宪法 纳米薄膜是指由尺寸为纳米数量级 (1~100nm)的组元镶嵌于基体所形成的薄 膜材料 。 由于这种特殊的结构，它在力、 热、光、电、等方面有着不同于普通材料 的的特性，下面主要从这几个方面介绍纳 米 薄 膜 的 特 性 及 应 用 。 1.摩擦特性 1.1有机薄膜的摩擦特性[1] 如图1，所示通过有机镀膜技术在Mg－Mn－Ce镁合金表面制 备有机薄膜有机镀膜后，其摩擦系数从未处理镁合金的0．127降 至0．078．说明在微载荷条件下，所形成的疏水有机纳米薄膜有 降低摩擦系数、提高摩擦学性能的效果，在解决MEMS(微机电) 系统的摩擦、润滑问题方面具有一定应用前景． 基于隧道压阻效应的多晶硅压阻特 性的修正模型，等效电阻如图3所示， 其中Rt(热电子发射电流决定的发射电 阻)是能量大于势垒高度的空穴电流 通路； Rf是隧道电流决定的隧道电阻， 为能量小于势垒高度的空穴提供的电 阻， Rf 、Rt与中性区电阻Rg都有压阻 效应，而且都是由应力引起价带的两 个能带退耦分离造成的。但隧道电流 带来的压阻效应更显著。重掺杂情况 下，多晶纳米薄膜的应变系数比晶粒 中性区和相应的单晶更大。 2.压阻特性 多晶硅纳米的压阻特性[3] 图3 多晶硅隧道模型的等效电路 由于重掺杂多晶纳米薄膜具有较大 应变系数