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PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器.pdfVIP

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  • 2023-10-21 发布于四川
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PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器.pdf

    本发明公开了一种PbSe红外探测薄膜及其制备方法以及红外探测器，该PbSe红外探测薄膜的制备方法包括：采用预敏化的靶材通过物理气相沉积法在基板上沉积PbSe薄膜。预敏化的靶材通过预敏化而在靶材中掺入氧化性元素，则进一步通过物理气相沉积即可在各类基底上直接制备出元素分布均匀的敏化PbSe薄膜，进而无需再进行高温敏化步骤，即避免了高温过程下造成的元素偏析，同时也克服了因为高温限制而导致无法在柔性有机材料等衬底上的缺陷，便于与现代电子制造技术兼容。因此，该PbSe红外探测薄膜的制备方法简化了PbSe红

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116904936 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310853012.8 H01L 31/09 (2006.01)

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