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- 2023-10-25 发布于四川
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一种基于亚波长光栅的非易失波导移相器，包括基层，以及固定在该基层上的异质集成波导结构和硅波导模斑转换结构，异质集成波导结构的两端对称连接所述的硅波导模斑转换结构。本发明具有结构紧凑、插入损耗低、驱动电压小、相变功耗低、相位调节非易失等优点，通过将相变材料分块形成亚波长光栅结构获得更高的可重构次数，可以作为集成光电子芯片中的核心光路调控器件。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116931299 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310765930.5 G02B 6/124 (2006.01)
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