一种真空压力气体检定装置及检定方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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一种真空压力气体检定装置及检定方法.pdf

本发明属于测量设备技术领域,公开了一种真空压力气体检定装置及检定方法,包括主分压室、若干副分压室、压缩空气源、分子泵以及机械泵;主分压室上设置第一标准压力计、被检压力计接口、微调放气阀以及薄膜真空计组;若干副分压室的体积不同;第一标准压力计与主分压室之间设置第一标准压力计截止阀,被检压力计接口与主分压室之间设置被检压力计截止阀。通过副分压室分压稳压后比较标准压力与被检压力计的读数,实现对检校压力计的压力检定,与常规的气体活塞压力及法相比,操作简单,通过分压就可实现绝压压力或真空压力变送器及传感器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116952460 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310946277.2 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人 中国航发动力股份有限公司 地址

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