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用于光学检查的处理装置和检查设备以及对应的方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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用于光学检查的处理装置和检查设备以及对应的方法.pdf

    一种检查系统和对应的方法。检查系统包括一种在用于样本(160)光学检查的检查设备(100)中使用的处理装置(130)，该处理装置(130)配置成：联接到光学检查手段(110)的摄像机(116)，联接到包括显示手段(122)的用户接口手段(120)，从用户接口手段(120)和/或摄像机(116)接收输入数据，向用户接口手段(120)提供输出数据，并且联接到存储手段(180)并且访问存储手段(180)以存储和提取数据；其中，处理装置(130)配置成通过访问存储在存储手段(180)处的指令数据(190

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116964686 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202180095109.6 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事

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