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cvd制备zno纳米棒及其光致发光特性研究 0 zno纳米棒和纳米晶须的制备 序言中的氧化锌（zno）具有广阔的带宽（3.37ev）和高灵敏极限（i59mev），在电子材料和设备制造领域具有重要的应用价值。由于其良好的性能和1-二维方向上的几何结构，它被广泛应用于结构材料的合成中。近年来，人们对1-纳米氧化锌纳米的研究引起了人们的关注，并取得了许多成果。zno纳米结构的制备方法包括rcd法、aao模型法、水热法、热蒸发法和催化剂法辅助生长法。其中的rcd法由于其简单的装置、良好的重复性和易控制性而被广泛使用。 本实验在没有使用催化剂的情况下采用新颖的“先氩气保护后氧气冲入”的办法,在同一次实验中不同位置的n-Si(111)衬底上制备了形貌不同的ZnO纳米棒和纳米晶须,对比研究了ZnO纳米线棒晶体结构和表面形貌特征.利用金属自催化的晶体生长理论,讨论了各种型貌ZnO纳米棒和衬底位置的关系及其生长控制方法. 1 实验方法和样品 实验在图1所示的管式水平炉中完成.高纯Zn粉作为原料,置于水平管式炉中石英玻璃管(120cm×￠6cm)中.图中A、B、C为三块彼此相隔2cm的单晶硅片(1cm×1cm),A与锌源距离也是2cm. 单晶硅片事先用去离子水漂洗,再用100℃的去离子水加热20min,然后在纯酒精中超声洗涤20min.自然风干使用.实验前,系统需要抽真空,待真空度达到10-5Tor