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本发明公开了一种载具搬运装置及载具搬运方法，载具搬运装置包括XYZ移动机构、旋转组件和夹取机构，旋转组件安装在XYZ移动机构上，XYZ移动机构用于带动旋转组件沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向移动，夹取机构安装在旋转组件下端，旋转组件用于带动夹取机构绕Z轴方向转动，夹取机构包括用于夹取舟的第一夹取组件和第二夹取组件。载具搬运方法中，当对接载舟处有工艺前的舟时，第二夹取组件夹取工艺前的舟，旋转组件进行旋转动作，再在对接载舟处上放下第一夹取组件夹取的工艺后的舟。本发明可以减少全自动装卸片机和工艺设备空闲
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116978841 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310824239.X H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日 2023.07.
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