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一种用于晶圆传输的防滑装置及机械手指.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种用于晶圆传输的防滑装置及机械手指.pdf

    本发明提供了一种用于晶圆传输的防滑装置及机械手指，其中该防滑装置包括：基座，开合滑块组，弹性限位滑块，插件滑块，所述基座内设有滑动腔，所述滑动腔内经导壁分别隔出纵横贯通的第一及第二滑道，且第一、第二滑道间保持间隔；所述开合滑块组的尾部在第一滑道内位移，以带动其头部在第二滑道内开合；所述弹性限位滑块头部设有双叉臂，以弹性夹持开合滑块组的头部，所述弹性限位滑块在第二滑道内位移，以经双叉臂控制开合滑块组头部的开合程度，所述弹性限位滑块腹部设有导槽，所述插件滑块与导槽配接，以引导其由双叉臂之间，插入开合

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116968071 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202311151426.2 (22)申请日 2023.09.07 (71)申请人 上海广川科技有限

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