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一种贴膜装置.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种贴膜装置.pdf

    本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种贴膜装置，包括工作台、基材托盘组件、压辊组件、薄膜托盘和除尘组件，基材托盘组件活动连接于工作台，用于承载硅片；压辊组件包括支架和压辊，压辊转动连接于支架，置于基材托盘上方，支架活动连接于工作台；薄膜托盘用于托举贴附膜，且活动连接于工作台；薄膜托盘能够和基材托盘组件同时反向运动或者相对反向运动，薄膜托盘与基材托盘组件之间呈锐角设置；实际贴膜中，贴附膜一端连接于基材托盘组件，贴附膜另一端随着薄膜托盘运动和/或基材托盘组件运动脱离薄膜托盘，覆盖于硅片，压辊将贴附

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116978832 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202311151813.6 (22)申请日 2023.09.07 (71)申请人 美清半导体（苏州）有限公司 地址

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