基于STI隔离的片上铜线电感及其在滤波电路中的应用的中期报告.docxVIP

基于STI隔离的片上铜线电感及其在滤波电路中的应用的中期报告 摘要： 本中期报告介绍了基于STI（Shallow Trench Isolation，浅沟槽隔离）的片上铜线电感及其在滤波电路中的应用。首先介绍了STI技术的原理和优势，然后介绍了片上铜线电感（CuCoil）的制作工艺及其电磁特性。接着介绍了CuCoil在滤波电路中的应用，包括低通、带通和高通滤波器。最后给出了下一步的研究方向和计划。 关键词：STI技术，CuCoil，滤波电路，制作工艺，电磁特性 1. 引言 滤波器是电子电路中常用的元件，主要用于去除信号中的噪声、干扰和谐波等。传统的滤波器通常采用电感和电容组成的LC结构，但是它们存在尺寸大、频带窄、Q值低等问题。近年来，随着集成电路技术的发展，片上电感逐渐成为滤波电路中的重要组成部分。 2. STI技术的原理和优势 STI技术是一种集成电路制造中常用的隔离技术，其原理是在硅衬底上刻蚀出一定深度的沟槽，并在沟槽内填充一层氧化物，从而隔离出不同的电路区域。与传统的LOCOS（Local Oxidation of Silicon，局部氧化硅）隔离技术相比，STI技术具有以下优势： （1）STI技术可以实现更窄的隔离间距，从而提高集成度； （2）STI技术可以减小器件之间的串扰效应，从而提高信号的干扰抑制能力； （3）STI技术可以减小晶体管的漏电流和源漏电流，从而提高器件的可靠性。 3. CuCoil的制作工艺及其电磁特性 CuCoil是一种基于STI隔离的片上铜线电感，其具有尺寸小、Q值高、频带宽等优点。CuCoil的制作工艺如下： （1）在SiO2层上刻蚀出一定深度的沟槽； （2）将电解铜填充在沟槽中； （3）通过CMP（Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光）工艺将电解铜衬平。 CuCoil的电磁特性如下： （1）Q值可达到50以上，且在高频段仍保持较高的Q值； （2）频带宽，可达到10GHz以上； （3）尺寸小，可实现高集成度。 4. CuCoil在滤波电路中的应用 CuCoil可以用于实现片上低通、带通和高通滤波器。其中，低通滤波器由一个CuCoil和一个电容组成，带通滤波器由两个CuCoil和一个电容组成，高通滤波器由两个CuCoil和一个电容组成。CuCoil滤波器具有以下优点： （1）不需要传统电感器件，因此可以大幅减小尺寸； （2）与电容组合使用，可以实现更高的Q值； （3）可靠性高，因为CuCoil是通过铜填充制作的，与硅衬底是直接接触的。 5. 结论与展望 本中期报告介绍了基于STI隔离的片上铜线电感及其在滤波电路中的应用。通过实验验证，CuCoil具有较高的Q值、频带宽和尺寸小等特点，可以实现高集成度的滤波电路。未来，我们将探索更多的CuCoil应用场合，并优化制作工艺，提高性能指标。