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动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜外延生长的中期报告 本次中期报告旨在介绍我们在模拟薄膜外延生长过程中所采用的动力学蒙特卡罗方法，并讨论我们已经得到的一些结果和结论。 首先，我们使用了一个基于晶格模型的动力学蒙特卡罗（KMC）方法来模拟薄膜外延生长过程。该模型考虑了薄膜的结晶结构和自由能，以及晶面的动力学行为。我们在模拟中也考虑了气相中的金属原子、基底上的原子和表层原子之间的相互作用。 我们的模拟结果显示，薄膜生长后的表面形貌非常复杂，具有多种形态包括异质结、纳米森林和蔓延生长。此外，我们发现在低温下，表面的成形速率相对较低，导致表面形貌的不稳定性增大。 接下来，我们还分析了表面的结构和物理性质，包括表面的元素分布、形貌和表面缺陷的类型。结果表明，表面缺陷与薄膜生长的晶体结构有很大的关系，其中晶体缺陷对表面缺陷的形成具有显著的影响。 最后，我们还进行了系统动力学模拟来评估薄膜外延生长过程的热力学稳定性。结果表明，薄膜外延生长过程会产生很强的熵增效应，并且较高的温度可以大大缩短表面缺陷的生存时间。 总之，我们的研究表明，动力学蒙特卡罗方法可用于理解和优化薄膜外延生长过程的机理，并预测表面形貌和物理性质，从而为该领域的实际应用提供了有力的理论支持。