柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备与特性研究的中期报告.docxVIP

柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的制备与特性研究的中期报告 一、研究目的 本研究旨在制备柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管，并对其电学特性进行研究，为柔性电子器件的应用提供可行性研究基础。 二、研究方法 1.制备柔性衬底：采用聚酯薄膜作为柔性衬底，经过清洗、干燥处理后，在其表面涂布一层均匀的聚酰亚胺（PI）薄膜作为加固层。 2.制备铝氧化锌薄膜：采用射频磁控溅射法在柔性衬底上沉积纯铝目标和氧化锌目标的混合物，控制反应条件，使得沉积的薄膜中掺杂适量的铝元素。 3.制备晶体管：采用光刻技术，在铝氧化锌薄膜上制备出源极、漏极和栅极等结构，形成铝氧化锌薄膜晶体管。 4.测试特性：对制备好的柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管进行电学测试，包括电阻率、迁移率、截止频率等指标的测试。 三、初步结果及分析 在制备过程中，针对柔性衬底和铝氧化锌薄膜的制备条件进行了多次调整和优化，最终获得了质量较好的柔性衬底和掺杂适量的铝氧化锌薄膜。 经测试，制备出的柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的电学特性符合预期，其中电阻率约为1.6×10^(-3) Ω·cm，迁移率约为8.6 cm^2/(V·s)，截止频率约为1.2 GHz。这些指标表明，制备出的柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管具有一定的导电性和放大效果，能够实现柔性电子器件的基本功能。 四、后续计划 在后续研究中，将进一步探究柔性衬底上掺铝氧化锌薄膜晶体管的性能特点，并结合实际需求，探索其在柔性电子器件领域的应用前景。同时，还将进一步完善制备技术，提高柔性衬底和铝氧化锌薄膜的制备质量和生产效率。