原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及能量收集领域，提供一种MEMS柔性压电能量收集器及其微加工方法，其中方法包括：在硅片的第一表面形成第一光刻胶层；在硅片的第一表面中与第一光刻胶层的镂空区域对应的区域刻蚀第一凹槽；在硅片上形成聚合物柔性薄膜层；去除第一光刻胶层将聚合物柔性薄膜层的剥离区域采用聚合物剥离的方法去除并保留图形区域；在硅片的第二表面预刻蚀第二凹槽；对硅片的第二表面中与第一凹槽和第二凹槽对应的区域同时进行刻蚀，直至露出聚合物柔性薄膜层的图形区域，器件释放完成得到MEMS柔性压电能量收集器的柔性聚合物悬臂梁和目标硅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116986551 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310784825.6
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 清华大学
地址 100084
文档评论（0）