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一种光掩模夹持机构及光刻机.pdfVIP

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  • 2023-11-08 发布于四川
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一种光掩模夹持机构及光刻机.pdf

    本发明公开了一种光掩模夹持机构及光刻机，包括：基架；至少一组夹持件，安装于基架，一组夹持件包括两个夹持件，同组的两个夹持件对称分布于基架的两相对侧，分别用于夹持光掩模的两相对侧，同组的两个夹持件能朝相互靠近或远离的方向相对于基架移动调节位置。本发明实施例的光掩模夹持机构，通过设置至少一组夹持件，利用同组的两个夹持件分别夹持光掩模的两相对侧，以对光掩模进行稳定的支撑，通过令同组的两个夹持件能朝相互靠近或远离的方向相对于基架移动调节位置，从而能够调节同组的两个夹持件之间的距离，以满足多种规格的光掩模

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117008425 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202310953638.6 (22)申请日 2023.07.31 (71)申请人 中山新诺科技股份有限公司 地址

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