一种基于激光吸收光谱的微型气体传感器.pdfVIP

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2023-11-08 发布于四川
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一种基于激光吸收光谱的微型气体传感器.pdf

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本发明公开了一种基于激光吸收光谱的微型气体传感器，包括上支撑层、探测器芯片、激光器芯片、集成电路模块、电路板和下支撑层；所述激光器芯片、集成电路模块和电路板均安装在下支撑层上，所述探测器芯片安装在上支撑层上，所述上支撑层与下支撑层之间设有由多孔散射材料构成的多孔气室。本发明采用多孔材料作为吸收池气室，显著提高了激光与被测气体的共振吸收，能在厘米量级实现米量级的光程，可显著缩小传感器的体积。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117007553 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202310913113.X (22)申请日 2023.07.24 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研