一种Chiplet芯片扇出形封装结构及其封装方法.pdfVIP

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  • 2023-11-08 发布于四川
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一种Chiplet芯片扇出形封装结构及其封装方法.pdf

本发明涉及芯片封装技术领域,具体地说是一种Chiplet芯片扇出形封装结构及其封装方法。一种Chiplet芯片扇出形封装结构,包括硅转接板,硅转接板两侧分别设有第一重新布线层、第二重新布线层,位于硅转接板表面设有导电结构,导电结构一端连接第一重新布线层,导电结构另一端连接第二重新布线层,使第一重新布线层与第二重新布线层形成电性连接。同现有技术相比,采用在硅转接板表面形成导电结构代替TSV通孔结构实现正反面的电性连接,从而降低封装的成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117012759 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202310687546.8 (22)申请日 2023.06.12 (71)申请人 宏茂微电子 (上海)有限公司 地址

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