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一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备.pdfVIP

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  • 2023-11-08 发布于四川
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一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备.pdf

    本实用新型提供了一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备，涉及硅片制造领域，包括：粘料板的第一表面用于与晶棒的侧面粘接连接，晶棒的轴线方向与粘料板的长度方向平行，粘料板两个相对的长边的侧壁，分别设置有定位凹槽；粘料板两个相对的长边的侧壁与粘料板的第一表面相邻；定位凹槽的延伸方向与沿粘料板的长边方向平行。本实用新型可以在观测到切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时，准确判断切割金刚线已完全切断晶棒，切割金刚线与定位凹槽的重叠判断清晰且直观，大大提升了切割金刚线是否完全切断晶棒的判断准确性。另外，在切割金刚线

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219968460 U (45)授权公告日 2023.11.07 (21)申请号 202320786930.9 (22)申请日 2023.04.10 (73)专利权人 鄂尔多斯市隆基硅材料有限公司 地

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