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一种新型三维伺服电机的设计 近年来，激光跟踪干预测量是一种无丝带柔性坐标测量方法。由于其测量精度、测量范围大、动态特性好等特点，引起了人们的注意。跟踪转镜机构是其中一个关键部件,本文在分析其它几种激光跟踪机构的基础上,提出了一种新的转镜机构。 1 测量中心误差的测量 多路法激光跟踪干涉测量系统工作原理见图1,有多套(常为4套)激光干涉仪、跟踪机构和一个猫眼逆反射器。跟踪机构中的反射镜将干涉仪的测量光束导向猫眼中心,猫眼固定在被测量物体上或沿被测表面移动,将入射到其中心的光束按原光路返回。返回的测量光束与参考光束干涉,实现对位移增量lij的测量。当lij为已知量时,计算猫眼中心的三维坐标公式为 式中,i为干涉仪数量,i=1,2,3,4;j为目标镜运动过程中测量点的数量,j=1,2,…;Bi为光束反射点(称基点)坐标;Tj为猫眼的运动坐标;Li为猫眼到各基点的初始距离;lij为猫眼到各基点Tj的相对距离。 当j≥9时,就可以计算出基点Tj的坐标和目标运动点的坐标。 2 跟踪装置的设计 3 回转轴-钢球点a的变化 由于存在加工安装误差,跟踪机构在运动过程中对测量精度的影响主要表现在在测量过程中,交点A随着测量位置的不同而发生变化。影响交点A变化的因素有①反射镜面与回转轴交点A不共面;②固定在一个电机轴上的两个拨杆上的钢球圆心连线不通过交点A;③两对钢球的连线不垂直自身所在的电机轴线;④