《碳化硅单晶用高纯石墨粉》.docxVIP

1 JC/T XXXXX—XXXX 碳化硅单晶用高纯石墨粉 1 范围 本文件规定了碳化硅单晶用高纯石墨粉的分级及标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、 包装、运输、储存。 本文件适用于以人造石墨、鳞片石墨、微晶石墨等为原料，经筛分、预处理、提纯等工艺制备 的碳化硅单晶用高纯石墨粉。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用 文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单） 适用于本文件。 GB/T 8170 数值修约规则与极限数 值的表示和判定 GB/T 8719 炭素材料及其制品的包装、标志、储存、运输和质量证明书的一般规定 GB/T 19077 粒度分析 激光衍射法 GB/T 41153 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 人造石墨 artificial graphite 以优质石油焦等原料为骨料、煤沥青等为粘结剂，经过配料、混捏、成型、炭化和石墨化等工 序制得的固体材料。 4 分级及标记 4.1 分级 碳化硅单晶用高纯石墨粉按照碳含量分为两个级别，分别用5N5和5N表示。 4.2 标记 碳化硅单晶用高纯石墨粉的标记由产品名称、本文件编号和产品等级组成。 示例： 碳≥99.9995%碳化硅单晶用高纯石墨粉，标记为： 碳化硅单晶用高纯石墨粉 JC/T XXXXX-5N5。 5 技术要求 碳化硅单晶用高纯石墨粉的理化指标应符合表 1 的规定。 表 1 碳化硅单晶用高纯石墨粉理化指标要求 等级 碳 % 硼 % 铝 % 钒 % 氮含量 cm 粒度 5N5 ≥99.9995 ≤2×10 ≤2×10 ≤2×10 ≤1×10 供需双方协商 5N ≥99.999 ≤5×10 ≤5×10 ≤5×10 2 JC/T XXXXX—XXXX 6 试验方法 6.1 碳、硼、铝、钒 按附录A的规定执行。 6.2 氮含量 将待测样品用环氧树脂等粘结剂粘在硅片上，将样品面进行抛光，按GB/T 41153的规定执行。 6.3 粒度 按GB/T 19077的规定执行。 7 检验规则 7.1 检验分类 7.1.1 出厂检验 出厂检验项目为：硼、铝、钒、粒度。 7.1.2 型式检验 型式检验项目为第 5 章的全部要求。有下列情况之一时，应进行型式检验： a）新产品投产或产品定型鉴定时； b）正常生产时，每一年进行一次； c）原材料、生产工艺、设备等发生较大变化，可能影响产品质量时； d）停产一年以上，重新恢复生产时； e）出厂检验结果与上次型式检验结果有较大差异时。 7.2 组批规则 同一批原料、同一生产工艺、同一等级稳定连续生产的碳化硅单晶用高纯石墨粉，以50桶（箱） 为一批，不足50桶（箱）仍按一批计。 7.3 抽样规则 7.3.1 每一批以桶（箱）为单位，从每桶（箱）中随机抽取 1 袋，按 1，2，3…的顺序编号。 7.3.2 从 7.3.1 抽取的袋装产品中按 20%的比例随机选折样品袋进行取样。 7.3.3 取样时，用洁净的不锈钢取样钎随机选取位置插入包装袋中，插入深度不得小于取样袋深度 的 4/5，在袋内物料中心轴线周围 20 mm 范围内取样 50 g，将所取样品充分混匀，按四分法缩分为 2 个 100 g，一份送检，一份备查。 7.4 判定规则 产品各项指标符合第 5 章的要求时，判定该批产品合格。当产品的某项指标不符合第 5 章要求 时，应加倍抽样复验不合格项，若复验结果符合第 5 章的要求时，则仍判定该批产品合格；若复验 结果至少有一项不符合第 5 章的要求时，则判定该批产品不合格。 8 标志、包装、运输、储存 8.1 标志 8.1.1 每个包装袋及桶（箱）上应注明产品名称、标记、净质量、生产单位名称和地址、防雨防潮 标识等，外包装图示标志应符合 GB/T 8719 的规定。 8.1.2 每个产品包装袋桶（箱） 内应附有产品合格证明。产品合格证应包括产品名称、产品批号、 产品标记、检验结果、检验日期、生产单位名称，并加盖生产企业检验部门检验章及检验员印记。 8.1.3 需方有特殊要求的按供需双方协议执行。 3 JC/T XXXXX—XXXX 8.2 包装 产品采取内外双层包装，其中内包装为真空或充氩包装，采用聚乙烯塑料等材料制作的可密封 袋，每袋净含量为（5±0.075） kg 、（10±0.1） kg和（20±0.1） kg三种；外包装为防护包装， 宜采用聚丙烯等材料制作的桶（箱）；包装应在洁净室内进行。每桶（箱）产品净质量不超过（20 ±0.5） kg。 8.3 运输 运输工具的车厢、船舱应