2023年金刚石膜-声表面波器件（SAW）相关项目实施方案.docx

金刚石膜-声表面波器件（SAW）相关项目实施方案 PAGE 1 金刚石膜-声表面波器件（SAW）相关项目实施方案 目录 TOC \h \z 12647 序言 3 32196 一、产品规划 3 5660 (一)、产品规划 3 26038 (二)、建设规模 4 14899 二、土建工程说明 5 2891 (一)、建筑工程设计原则 5 8969 (二)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目工程建设标准规范 6 5805 (三)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目总平面设计要求 8 14168 (四)、建筑设计规范和标准 9 7679 (五)、土建工程设计年限