2023年化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体相关项目实施方案.docx

化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体相关项目实施方案 PAGE 1 化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体相关项目实施方案 目录 TOC \h \z 22192 概论 3 4734 一、产品规划 3 28115 (一)、产品规划 3 12809 (二)、建设规模 4 7027 二、土建工程说明 5 21247 (一)、建筑工程设计原则 5 20270 (二)、化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体项目工程建设标准规范 6 14234 (三)、化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体项目总平面设计要求 8 22301 (四)、建筑设计规范和标准 9