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一种瞬态电压抑制二极管及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种瞬态电压抑制二极管及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种瞬态电压抑制二极管及其制作方法。该制作方法包括：形成二极管基元；将二极管基元放到石英舟中，启动炉管，向炉管内通入氧气并提升炉管内的温度；当炉管内的温度升到目标设定温度时，将向炉管内通入的氧气切换为设定流量的氮气，并持续通入第一设定时长的氮气以使炉管内充满氮气；在第二设定时长内将石英舟从炉管的炉口处放入炉管的恒温区内；二极管基元在恒温区内的第三设定时长后，在第四设定时长内将石英舟从炉管的恒温区拉出至炉口处；对石英舟上的二极管基元进行冷却降温。本发明可以在短时间内快速完成退火处理，节

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117038448 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311057194.4 (22)申请日 2023.08.21 (71)申请人 马鞍山市槟城电子有限公司 地址

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