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一种图像传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种图像传感器及其制备方法.pdf

    本发明涉及图像传感器领域，特别是涉及一种图像传感器及其制备方法。图像传感器包括：半导体衬底层；金属‑绝缘体‑金属电容层，设置于半导体衬底层的下表面，金属‑绝缘体‑金属电容层的上极板与重掺杂离子注入区连接，金属‑绝缘体‑金属电容层的下极板接地；金属走线层，设置于金属‑绝缘体‑金属电容层的下表面；背侧深沟槽隔离层，刻蚀半导体衬底层的未掺杂硅区；高介电材料及氧化物层，设置于半导体衬底层和背侧深沟槽隔离层的上表面；金属网格区，设置于高介电材料及氧化物层的上表面；彩膜层，设置于高介电材料及氧化物层和金属网

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117038687 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311020906.5 (22)申请日 2023.08.11 (71)申请人 合肥海图微电子有限公司 地址 2

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