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基于多目标约束的纳米级互连线优化模型研究的中期报告 1. 研究背景 随着纳米技术的迅速发展，纳米级互连线已成为微电子领域一个重要的研究方向。在互连线的设计中，需要考虑优化设计参数，例如线宽、线距、晶体管大小等，以满足性能、功耗、可靠性等方面的要求。然而，这些优化设计参数之间常常存在相互制约的关系，如提高性能可能会增加功耗，减小线宽可能会降低可靠性。因此，需要建立基于多目标约束的纳米级互连线优化模型。 2. 研究内容 本研究的主要内容包括以下几个方面： 1）通过文献综述和实验数据收集，确定纳米级互连线设计中需要优化的主要参数以及它们之间的相互制约关系。 2）设计纳米级互连线优化模型，其中包括多个目标函数和多个约束条件。目标函数包括性能、功耗、可靠性等方面的指标，约束条件则考虑了各个设计参数之间的制约关系。 3）采用优化算法，例如粒子群算法、遗传算法等，对纳米级互连线优化模型进行求解，得到最优设计方案。同时，通过对比不同算法的求解结果，选择出最优算法。 3. 研究意义 本研究将为纳米级互连线的优化设计提供一个全面、系统性的方法。建立多目标约束的纳米级互连线优化模型，可以同时考虑性能、功耗、可靠性等多个方面的要求，避免了单一指标的盲目追求。此外，通过选择最优算法进行求解，可以提高求解效率和精度，从而更好地指导互连线的设计和制造。