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基于白光干涉技术的三维表面微观形貌测量的研究的中期报告 中期报告： 研究背景： 表面微观形貌是表面质量的重要指标，对于材料加工、光学元件设计、生物学等领域具有重要的研究意义。基于白光干涉技术的三维表面微观形貌测量已成为一种重要的测量方法。该方法具有非接触、高精度、全自动等优点，可以实现对复杂表面微观形貌的高精度测量。 研究内容： 本研究的目标是研究基于白光干涉技术的三维表面微观形貌测量方法，并实现对样品表面的测量。该研究涉及以下内容： 1. 理论分析：根据白光干涉技术原理，建立表面高度与干涉条纹的相位差之间的数学模型，并分析影响测量精度的因素。 2. 系统搭建：搭建基于白光干涉技术的三维表面微观形貌测量系统，包括光学系统、控制系统、数据采集系统等。 3. 测量方法研究：设计并实现三种不同的测量方法，包括直接测量法、相位移法和扫描测量法，并比较其测量精度和适用范围。 4. 测量结果分析：对不同样品表面进行测量，并分析测量结果的准确性和稳定性。 预期结果： 通过本研究，可以实现对样品表面微观形貌的高精度测量，并根据测量结果分析其表面质量和性能。该研究可为材料加工、光学元件设计、生物学等领域的研究提供参考。