MEMS 传感器企业技术创新策略研究报告
内容目录
一、前言1
二、2023-2028 年 MEMS 传感器市场前景及趋势预测 2
2.1 MEMS 传感器行业监管情况及主要政策法规
2.1.1 所属行业分类
MEMS (全称Micro Electromechanical System)即微机电系统,是一种利用集成电路(IC)
制造技术和微结构加工技术把微传感器、微执行器等制造在一块或者多块芯片上的微型集成系统,
其尺寸约为几毫米乃至更小,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一
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