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2023-11-15 发布于四川
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一种基于焦深延拓像散探头的透镜参数测量方法.pdf

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本发明提供一种基于焦深延拓像散探头的透镜参数测量方法，具有曲率半径、中心厚、及轮廓三种测量模式，所述包括上位机、运动控制器、三轴电动平移台、焦深延拓像散探头、夹持机构、待测元件，其中所述焦深延拓像散探头将光束聚焦至待测元件表面，探头测量的反射光斑形状与表面及探头之间位置相关，通过分析光斑形状定位表面位置；所述三轴电动平移台带动探头在xyz三个方向进行扫描获得表面面形信息，并实现元件几何参数的测量。本发明相比传统测量设备，本发明为非接触测量，不会损伤表面，且结合了三种测量模式，具有超高性价比，有望

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113639968 A (43)申请公布日 2021.11.12 (21)申请号 202110908385.1 (22)申请日 2021.08.09 (71)申请人南京森林警察学院地址

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