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铜互连可靠性有限元模拟分析的中期报告 尊敬的领导： 根据您的安排，我负责对铜互连的可靠性进行有限元模拟分析，并在中期阶段提交进展报告，以下是我的工作进度和研究结果。 一、工作进度 1.收集资料：对铜互连的制造工艺、材料、结构等进行了了解和收集，并查阅了相关的文献和资料。 2.建立模型：根据实际情况，建立了铜互连的有限元模型，并进行了分析验证。 3.模拟分析：针对铜互连在使用中存在的问题，进行了多个工况下的有限元分析，包括承重、热膨胀等因素。 4.结果分析：对有限元模拟的结果进行了分析和对比，确定了可靠性评估的方法和标准，为后续的研究和改进提供了依据。 二、研究结果 1.分析结果表明，铜互连受力的分布不均匀，可能会出现局部应力过大的问题，特别是在较大的热膨胀系数下。 2.基于有限元模拟分析的结果，我们制定了评估铜互连可靠性的标准，并确定了改进的方向和措施，以确保铜互连的长期稳定性和可靠性。 三、下一步工作 1.进一步完善模型：对模型进行改进和优化，以获得更加准确的结果。 2.继续模拟分析：对不同工况下的铜互连进行有限元模拟分析，进一步确定其可靠性。 3.撰写最终报告：根据模拟分析结果，编写最终的报告，提出改进建议和措施。 以上是我的中期报告，如有疑问和建议，欢迎指导。