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基板处理设备及基板处理方法.pdfVIP

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  • 2023-11-18 发布于四川
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基板处理设备及基板处理方法.pdf

    本公开提供了一种基板处理设备，以在单个装置中提供对基板的加热和等离子体处理，并且基板处理设备包括：处理容器，在其中容纳基板；支承构件，在处理容器中支承基板；等离子体提供单元，包括在处理容器内生成等离子体的电极；以及微波引入单元，连接到微波生成单元，并且向处理容器中引入微波。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117080040 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202310539862.0 (22)申请日 2023.05.15 (30)优先权数据 10-2022-0059708

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