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本发明公开了一种应用于毫米波及太赫兹通信的双频段MEMS滤波器，属于射频通信领域，提出一种基于电压控制MEMS单刀双掷开关的双频段滤波器，整体均采用MEMS工艺进行加工和装配，在保证了加工便捷性，阻抗匹配的同时使得传输损耗和整体尺寸大大减小。该结构滤波器具备强大的可扩展性，通过开关的选择功能以及性能优异的脊状波导转接口，可接入更多的滤波器模块以实现多频段滤波器的功能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117080700 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311189732.5
(22)申请日 2023.09.15
(71)申请人 东南大学
地址 211189
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