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新型LSPR气体传感器及其灵敏度研究的中期报告 本研究采用表面等离子共振（Surface Plasmon Resonance, SPR）技术制备新型LSPR（Localized Surface Plasmon Resonance, 局域表面等离子共振）气体传感器，并探究其灵敏度。 首先，我们选择合适的材料制备传感器。在考虑成本、稳定性、可制备性等因素后，我们选择针对甲烷、乙烷与丙烷等低分子量气体敏感的银纳米颗粒作为传感器材料。通过磁控溅射法制备了不同厚度的银薄膜，并在其表面沉积了银纳米颗粒。通过扫描电子显微镜（SEM）观察，得到了银纳米颗粒均匀分布在银膜表面的结果。 随后，我们通过SPR技术对气体传感器的灵敏度进行研究。实验过程中，我们分别测量不同浓度的甲烷、乙烷、丙烷与氮气（作为对照）对传感器的响应。实验结果显示，甲烷、乙烷和丙烷都能引起传感器信号的变化，而氮气对传感器信号无影响。同时，随着气体浓度的增加，传感器信号也呈现出逐渐增加的趋势。 针对以上结果，我们进一步探究了传感器灵敏度。实验中，我们测量了不同浓度下，对应气体的相对响应值，发现传感器对低浓度气体的响应值比高浓度气体有更高的增长率，这表明传感器对低浓度气体更加灵敏。同时，我们还通过接触角测量和X射线光电子能谱（XPS）等方法分析了传感器表面物化特性与气体响应之间的关系。 综上，本研究成功制备了新型LSPR气体传感器，并