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一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统.pdf

    一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统，在该方法中，检测薄膜电容器电容的变化，得到所述薄膜电容器电容的变化值；判断所述薄膜电容器电容的变化值的变化方式；输出膜电容器电容的变化值。解决了因为气体分子不同、真空容器不密闭导致检测的气体真空度不准确，提高了气体真空度检测的准确性。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117091752 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311080810.8 (22)申请日 2023.08.25 (71)申请人 深圳圣融达科技有限公司 地址 5

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