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- 2023-11-22 发布于四川
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本发明涉及光学元件技术领域，具体涉及一种光学元件及其制备方法。该光学元件包括：ZnSe基底；ZnSe基底的一表面设置有分光膜；ZnSe基底的另一表面设置有增透膜；其中，分光膜从基底侧向外包括沉积在ZnSe基底表面的ZnSe层，在ZnSe层上向外交替叠加至少3次的YbF3层和ZnS层，以及Y2O3层和最外侧的HfOxN1‑x层。该光学元件的硬度高，耐磨性高和抗热冲击性能强，可在苛刻环境下工作，保证光学元件在多种环境下使用。该制备方法简化了膜层层数，节省了物料成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117092726 A
(43)申请公布日 2023.11.21
(21)申请号 202311106153.X C23C 14/32 (2006.01)
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