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- 2023-11-29 发布于四川
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本发明公开一种半导体机械手手指调平装置及方法，其中半导体机械手手指调平装置包括机械手手臂和手指组件，二者之间设置有一个旋转球；还包括有调平螺钉和锁紧顶丝，调平螺钉螺钉头部与相邻的机械手手臂或手指组件之间设置有碟簧；调平螺钉包括有连线构成第一三角形的第一调平螺钉、第二调平螺钉、第三调平螺钉，旋转球位于第一三角形的范围内；由机械手手臂和手指组件中之一穿入锁紧顶丝，锁紧顶丝末端与机械手手臂和手指组件中的另一相抵触或相连接；锁紧顶丝包括有连线构成第二三角形的第一锁紧顶丝、第二锁紧顶丝、第三锁紧顶丝，旋转
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117133707 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311393694.5
(22)申请日 2023.10.26
(71)申请人 盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
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