激光刻蚀装置.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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激光刻蚀装置.pdf

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本申请提供了一种激光刻蚀装置，包括：真空腔室，激光器，以及与激光器电连接的控制组件；真空腔室，用于放置刻蚀对象，并为刻蚀对象提供真空环境；激光器，用于在控制组件的控制下，对真空腔室中的刻蚀对象进行激光刻蚀；其中，激光器位于刻蚀对象的重力方向一侧。将刻蚀对象置于真空环境中，并利用位于刻蚀对象下方的激光器对刻蚀对象进行刻蚀，一方面可以隔绝外界环境的影响，另一方面可以使得刻蚀过程中产生的微粒受重力影响下落，从而避免微粒飞溅并污染刻蚀对象，提升了刻蚀效果，增加了产品良率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117139856 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311176379.7 (22)申请日 2023.09.12 (71)申请人云谷（固安）科技有限公司地址