ESD OUTLINE2001外文翻译、看完整版.pptxVIP

ESD培訓教材4目錄41.靜電的產生原理42.靜電的危害43.靜電放電的形式44.靜電的防護措施45.工廠靜電防護系統的建立

靜電產生原理4ESD─ElectroStaticDischarge(靜電防護)4產生原理:4一.摩擦4二.感應4三.傳導

4一.摩擦產生靜電------如下圖所示靜電產生原理7P+7P+7P+7P+e-e-e-e-e-e-e-平衡原子1e-帶負電原子e-e-e-e平衡-原子2e-e--摩擦ee-e-e-e-e-e-e-e帶正電-原子e-e-e-e-

4二.感應產生靜電4三.傳導產生靜電靜電產生原理+ ++ ++ +- +- +- ++++++++++ +++++++

靜電的危害4一.元件的損壞ESD破壞之原因：功率產生：如熱崩潰、金屬被熔融電壓產生：如介電質崩潰、表面崩潰潛在性故障：如功能劣化、降級4二.塵粒污染4將微塵吸附到半導體元件表面.降低品質,影響功能

靜電的危害4一.元件的損壞ESD破壞之型態接面崩熔（JunctionBurnout）過大的電流通過接面時，產生極大的熱量，使得接面崩熔。此種破壞是屬於接面短路，通常在金屬氧化層半導體（MOS）上可以發現此類型之破壞，這是由於外加的靜電壓超過了氧化層的崩潰電壓所致。其現象亦是短路。EBC2.氧化層貫穿針引線（OxidePun