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pz薄膜相结构与晶体结构的调控

1.pzt膜的组成和作用

目前，pzt薄膜材料的应用引起了人们的关注。众多的研究强调Sol-gel法在制备PZT其(100)、(111)取向生长的薄膜时,薄膜的结晶学性能对薄膜的电学、光学性能有很大的影响。由于PZT组成在铁电四方相和三方相交界面上具有良好的压电介电和热释电性能特性,对锆钛酸铅系压电材料来说,为了获得良好的压电介电性能,大多数选择其组成应在相界附近,即在PZT低温相图中三方相与四方相的交界处,即对Pb(ZrxTi1-x)O3,选择x=0.53附近,从PZT低温平衡相图中表明:Zr/Ti比的不同,薄膜的晶化结构是不同的,并将会影响PZT膜的弹性,介电释电性能。本文用Sol-gel方法,不同Zr/Ti比制备PZT,报道有关实验结果,并对PZT薄膜的形成相转变的晶格参数进行讨论,且阐明了PZT铁电材料相结构变化规律。

2.材料和方法

2.1主要试剂和设备

Zr(OC4H9)4;Ti(OC4H9)4购于美国Aldrich公司。乙二醇甲醚,醋酸铅均为国产分析纯试剂。

2.2zr/ti比的确定

PZT溶胶的制备,预先加热乙二醇甲醚温度至40～50℃,准确取不同比例的Zr(OC4H9)4和Ti(OC4H9)4于一定量的乙二醇甲醚溶液中在125℃回流30min。不同的Zr/Ti比从富钛溶液到富锆溶液组成。Zr/Ti比为20∶80、40∶60、53∶47、60∶40、80∶20,在所有各配比的溶液中按化学计量多加10mol%的Pb(OAc)2再回流30min。上述溶液即可用来匀胶。

2.3湿膜的制备。在大气干

PZT溶液分别旋转-涂层在Pt/Ti/SiO2/Si和锈钢衬底上,在大气气氛中,以3000r/min.的转速下匀胶30s,形成的湿膜在180℃烘干备用。控制在L.min-1氧气流速中,以50℃/min升温速率在不同温度下进行退火处理。

2.4xrd分析

物相在D/max-2200X射线衍射仪上进行薄膜样品分析,CuKa辐射,转角速率0.01/min.。

2.5铁电回收线的测量

在PZT薄膜上溅射1500·的Pt作为上电极,薄膜的击穿场大于150Kv/cm,50Hz频率测定材料的铁电回路。

3.pzt薄膜的温度与结构

3.1非晶或烧绿石相向钙钛矿相的转变

Fig.1XRDforchangesofphasestructureofamorphousfilm(a)Pt/Ti/SiO2/Si(b)stainlesssteel

资料表明:烧绿石相为面心立方结构,分子式为A2B2O7与非晶膜一样,具有低的介电常数和无电磁回路,非铁电结构膜往往可通过退火处理转变为铁电钙钛矿结构,为揭示这种变化,我们用XRD衍射连续研究了原始膜的升温变化过程,在不锈钢和Pt/Ti/SiO2/Si为衬底上,以50℃/min升温速率,对不同温度下进行退火处理结果如图1。图1表示不同衬底上,不同温度下退火PZT薄膜的XRD图。从图(1)可见烧绿石相在两种衬底上出现的温度是不一样的,在不锈钢上520℃、在Pt上500℃左右出现,此时X衍射峰较宽,表示结晶的颗粒小,非晶态在X衍射蜂仍有一定高度。表明材料结晶程度不够,随温度继续升高,X衍射峰有升高,钙钛矿尖峰在Pt衬底上600℃可明显观察到,不锈钢上650℃。随温度升高,烧碌石相与非晶胞峰高度逐渐降低,钙钛矿峰增高,说明非铁电相在向钙钛矿相转变。从图1非晶膜随温度不同向晶态转化的XRD谱图可以说明不同温度范围内可观察到结果:

500℃以下为非晶原始膜,400～600℃为烧碌石相,当大于500℃为钙钛矿相。

以上温度解释是所有相变温度由热力学决定。从非晶态的PZT薄膜经退火形成钙钛矿结构时比转变为烧碌石相原始膜容易,原因解释在于:烧碌石相与钙钛矿相间存在结构与组份的差异Pb/(Zr+Ti)/O原子比前者为2/2/7后者为1/1/3,由于组份差异阻碍了相变的完全进行,在升温中,虽然会出现烧碌石相,但也由于其结晶颗粒小并分散,不能控制相变过程。资料研究同时表明:非晶原始膜,首先是转化成亚稳态的烧碌石相结构(400～600℃),然后才结晶成稳定的钙钛矿相(500～700℃)。

3.2PZT薄膜的XRD及结构分析

图2是在Pt/Ti/SiO2/Si为衬底Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜在700(C退火1hr后的XRD图。图2表明PZT在Pt衬底上的生长与取向特征,薄膜取向在(100)上有比较高的强度,这是因为材料在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上是按(100)取向生长,所以P