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本申请涉及气敏材料技术领域，特别涉及一种气敏材料、气体传感器、其制备方法和应用。该气敏材料材质为双金属(金属Sm和金属Pd)修饰的半导体材料SnO2，采用凝胶溶胶法制备Sm2O3掺杂的SnO2；然后加入含Pd材料混合煅烧。该气体传感器包括MEMS芯片，和分布于MEMS芯片的叉指电极之上的气敏材料。本申请的气敏材料、气体传感器、其制备方法具有更高的灵敏度、响应恢复时间短、选择性良好，可用于乙炔气体的选择性检测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117169292A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311232283.8C01F17/224(2020.01)
(22)申请日2023.09
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