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提供一种相对于检查对象物的平坦度的下降而言稳定的异物检查装置、曝光装置以及物品制造方法。检查物体的被检查面上的异物的异物检查装置具有：投光部，向所述被检查面投射检查光；以及受光部，接受由于通过所述投光部投射所述检查光而产生的来自所述异物的散射光，所述异物检查装置以所述投光部的光轴与所述受光部的光轴相交的点位于从所述被检查面可取的高度范围偏移的位置的方式配置了所述投光部和所述受光部。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110941138A
(43)申请公布日
2020.03.31
(21)申请号20191
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