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半导体玻璃微通道板的研制

mcp工艺的改进

微通道板（mcp）是一种二维连续电子集成炉，由具有连续电子集成能力的微通道以一定的几何结构组织起来。当在其输入、输出两端加上一定的电场时,就能对极其微弱的二维电子图像进行倍增或放大。由于微通道板本身对大多数荷电粒子、部分高能粒子和短波光(紫外线、X射线等)具有一定的量子探测效率,故可以直接用来探测。因而微通道板在微光夜视、航空航天探测、核探测及大型科学仪器领域有着广泛的应用。

自1958年Dalton申请制造CGW8161玻璃专利以来的20年间,标准玻璃微通道板制造工艺获得了飞速发展,并在美、英、法、荷、前苏联等国的许多公司形成批量生产。然而,传统的铅硅酸盐玻璃MCP由于材料组成与工艺的限制,其电子增益、噪声、动态范围、信噪比、寿命等性能很难同时得到很好改善,特别困扰人的是离子反馈很难克服。从各大科研机构、高校,特别是部队装备方面反馈的信息看,现有MCP的性能很大程度上限制了其应用,特别是在空间探测、微光夜视、弱信号增强等领域,对高性能MCP的需求更加急迫。

为了提高MCP的性能,实现低噪声、长寿命、高输出、无离子反馈等高性能MCP,很多研究机构从不同方面对MCP的性能改进提出了要求。20世纪90年代初,美国Galileo电子-光学公司J.R.Horton等人提出采用单晶硅材料,利用先进的半导体器件制造工艺和微米/纳米加工技术研制硅