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2023-12-20 发布于四川
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本发明提供了一种类金刚石薄膜制备设备，包括真空室、脉冲激光器、半透镜、第一凸透镜、反光镜，以及第二凸透镜；真空室的侧壁设有第一透光窗口和第二透光窗口；真空室内设有用于相对固定靶材和基底的装夹组件；脉冲激光器与第一透光窗口对齐；半透镜用于使激光光束一部分透射形成为第一光束，另一部分反射形成为第二光束；第一凸透镜用于朝向靶材汇聚第一光束，且汇聚的第一光束用于消融靶材以形成沉积离子射向基底表面；反光镜用于向第二透光窗口内反射第二光束；第二凸透镜用于使第二光束汇聚以加热基底。本发明提供的类金刚石薄膜制备

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117248182A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202310179537.8G02B27/10(2006.01)

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